[发明专利]一种微沟槽的制造设备及制造方法有效
| 申请号： | 200610124232.3 | 申请日： | 2006-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN1974047A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 汤勇;李勇;卢朝晖;肖博武;李西兵;陆龙生;潘敏强 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | B21D22/16 | 分类号： | B21D22/16;B21D37/10;B21D37/12;B21D37/18;B21D37/00;B21D53/06 |
| 代理公司： | 广州粤高专利代理有限公司 | 代理人： | 何淑珍 |
| 地址： | 510640广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 沟槽 制造 设备 方法 | ||
【权利要求书】：
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