[发明专利]抛光垫及其制造方法无效
| 申请号： | 200610126354.6 | 申请日： | 2006-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN101134303A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 邱丞伟;庄千莹 | 申请（专利权）人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D17/00 | 分类号： | B24D17/00;B24D18/00;B24B29/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴;巫肖南 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光 及其 制造 方法 | ||
1.一种抛光垫，包括：
一抛光垫本体；以及
一窗口，其镶嵌于该抛光垫本体中，
其中该窗口与该抛光垫本体之间具有化学键。
2.如权利要求1所述的抛光垫，其中该抛光垫本体为高分子材料。
3.如权利要求2所述的抛光垫，其中该抛光垫本体为聚氨酯(polyurethane，简称PU)。
4.如权利要求1所述的抛光垫，其中该窗口为透明的高分子材料。
5.如权利要求4所述的抛光垫，其中该窗口为聚碳酸酯(polycarbonate，简称PC)、聚氨酯(polyurethane，简称PU)或聚丙烯酸甲酯(polymethyl acrylate，简称PMA)。
6.如权利要求1所述的抛光垫，其中该窗口的上、下表面与该抛光垫本体的上、下表面共一平面。
7.如权利要求1所述的抛光垫，其中该化学键包括氢键。
8.一种抛光垫的制造方法，包括：
将一未固化的胶质放置于一抛光垫的模具中；
将一抛光垫的材料注入于该模具中；
将该抛光垫的材料成型形成一抛光垫本体，并使该未固化的胶质固化形成一窗口，其中该窗口与该抛光垫本体之间形成化学键；以及
将该模具移除，以得到一具窗口的抛光垫。
9.如权利要求8所述的抛光垫的制造方法，其中该抛光垫的材料为高分子材料。
10.如权利要求9所述的抛光垫的制造方法，其中该抛光垫的材料为聚氨酯。
11.如权利要求8所述的抛光垫的制造方法，其中该窗口为透明的高分子材料。
12.如权利要求11所述的抛光垫的制造方法，其中该窗口为聚碳酸酯、聚氨酯或聚丙烯酸甲酯。
13.如权利要求8所述的抛光垫的制造方法，其中该化学键包括氢键。
14.如权利要求8所述的抛光垫的制造方法，其中该窗口的上、下表面与该抛光垫本体的上、下表面共一平面。
15.如权利要求8所述的抛光垫的制造方法，其中该抛光垫的材料成型方式为发泡成型。
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