[发明专利]对于用于沉积含铝金属膜和含铝金属氮化物膜的装置的清洁方法无效
| 申请号： | 200610126946.8 | 申请日： | 2006-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN1990898A | 公开（公告）日： | 2007-07-04 |
| 发明（设计）人： | 李起薰;李相镇;徐泰旭 | 申请（专利权）人： | 株式会社整合制程系统 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C16/34;B08B3/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 韩国450－0*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 对于 用于 沉积 金属膜 金属 氮化物 装置 清洁 方法 | ||
【权利要求书】：
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