[发明专利]类金刚石碳硬质多层薄膜形成的物体和其制造方法有效
申请号: | 200610128589.9 | 申请日: | 2006-09-05 |
公开(公告)号: | CN1927581A | 公开(公告)日: | 2007-03-14 |
发明(设计)人: | 赤理孝一郎;太田安喜俊 | 申请(专利权)人: | 株式会社神户制钢所 |
主分类号: | B32B33/00 | 分类号: | B32B33/00;C23C14/34;C09K3/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 刘锴;段晓玲 |
地址: | 日本兵库*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金刚石 硬质 多层 薄膜 形成 物体 制造 方法 | ||
【说明书】:
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