[发明专利]硅金键合方法无效
| 申请号： | 200610135263.9 | 申请日： | 2006-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1958437A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | 孙道恒;吕文龙;王凌云;刘益芳;吴德志 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所 | 代理人： | 马应森;张耕祥 |
| 地址： | 361005福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅金键合 方法 | ||
【权利要求书】：
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