[发明专利]制造高密度图案化介质上的伺服图案的装置、方法和系统无效
| 申请号： | 200610135573.0 | 申请日： | 2006-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN1953065A | 公开（公告）日： | 2007-04-25 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·R·阿尔布雷克特;兹瓦尼米尔·Z·班迪克 | 申请（专利权）人： | 日立环球储存科技荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G11B5/84 | 分类号： | G11B5/84;C23C16/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张波 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制造 高密度 图案 介质 伺服 装置 方法 系统 | ||
【说明书】：
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