[发明专利]抗蚀剂涂敷方法以及抗蚀剂涂敷装置有效
| 申请号： | 200610135688.X | 申请日： | 2006-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN1952781A | 公开（公告）日： | 2007-04-25 |
| 发明（设计）人： | 吉原孝介;井关智弘 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂涂敷 方法 以及 装置 | ||
【权利要求书】：
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