[发明专利]空气洗涤设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种空气洗涤设备，特别涉及一种有效去除空气中的不良气体(如NH₃、SO_X、ND_X)，借以使空气达到符合无尘室要求的纯净度的空气洗涤设备。

背景技术

在芯片的制造过程中，不但需要精确地控制温度、湿度，而且需要达到无尘标准以及避免受到化学物质干扰，那么要达到无尘洁净的标准，就需要对空气质量进行控制。

所以，无尘室中设有专用的空调设备，不但要除去空气中不良的气体，同时，还需要提供适当的湿度，以防止因空气太干燥而产生静电感应，也需要同时提供适当的温度，以符合生产所需的条件。

请参阅图1所示，为现有的一种空调箱的水洗及加湿设备，其在一回收底座18a的两个相对侧边分别连结有空调箱10a、11a及冷却盘管12a，并在该回收底座18a上方设置一过滤板13a、两个喷嘴装置14a、15a及一挡水帘16a。该回收底座18a设有进水口181a及出水口182a，该进水口181a提供补给水的流进，该出水口182a提供循环液体的流出，且该回收底座18a与两个喷水装置14a、15a之间连接有循环管线17a，该循环管线17a利用一泵19a使补给水循环，所述喷水装置14a、15a及该过滤板13a用以进行空气洗涤及脏污的过滤与拦截，该挡水帘16a用以阻挡喷出的循环液体，以便能使循环液体再流入该回收底座18a，借以形成该循环液体的循环。

然而，为维持循环液体的纯净度，补给水必须持续地由进水口181a进水，且直接由出水口182a排出。因此，补给水的使用量就会相对增加，而且所使用的补给水为昂贵的DI(去离子；De-ionized)水，造成经济损失及资源浪费，增加运行成本。

所以，公知的空调箱的水洗及加湿设备在实际使用中仍然有期待改善的问题。

发明内容

本发明的主要目的，在于提供一种空气洗涤设备，用以降低补给水(去离子水)的使用量，且可以达到较佳的空气洗涤的效果，使无尘室中的空气质量符合标准。

为实现上述的目的，本发明提供一种空气洗涤设备，包括：一第一回收底座；一第二回收底座，位于该第一回收底座的上游；一补给水装置，连接于该第二回收底座；一用以进行空气洗涤的第一喷水装置，设置于该第一回收底座上方；一用以进行空气洗涤的第二喷水装置，设置于该第二回收底座上方；一第一循环管线，连接于该第一回收底座与该第一喷水装置之间；一第二循环管线，连接于该第二回收底座与该第二喷水装置之间；一用以使水由该第一回收底座流向该第一喷水装置的第一泵，设置于该第一循环管线上；一用以使水由该第二回收底座流向该第二喷水装置的第二泵，设置于该第二循环管线上；一用以过滤空气及挡水的第一过滤板，设置于该第一回收底座上方，并位于该第一喷水装置的喷嘴的前方；一用以过滤空气及挡水的第二过滤板，设置于该第一回收底座上方，并位于该第一过滤板与该第二喷水装置之间，使水循环流入该第一回收底座；以及一用以过滤空气及挡水的第三过滤板，设置于该第二回收底座上方，并位于该第二喷水装置的喷嘴的后方，使水循环流入该第二回收底座。

本发明还提供一种空气洗涤设备，包括：一第一回收底座；一第二回收底座，位于该第一回收底座的上游；一补给水装置，与该第二回收底座连接；一用以进行空气洗涤的第一喷水装置，设置于该第一回收底座上方；一用以进行空气洗涤的第二喷水装置，设置于该第二回收底座上方；一第一循环管线，连接于该第一回收底座与该第一喷水装置之间；一第二循环管线，连接于该第二回收底座与该第二喷水装置之间；一用以使水由该第一回收底座流向该第一喷水装置的第一泵，设置于该第一循环管线上；一用以使水由该第二回收底座流向该第二喷水装置的第二泵，设置于该第二循环管线上；一用以过滤空气及挡水的第一过滤板，设置于该第一回收底座上方，并位于该第一喷水装置的喷嘴的前方；一用以过滤空气及挡水的第二过滤板，设置于该第二回收底座上方，并位于该第一过滤板与该第二喷水装置之间，使水循环流入该第二回收底座，防止该第二回收底座的补给水过量的流至该第一回收底座；以及一用以过滤空气及挡水的第三过滤板，设置于该第二回收底座上方，并位于该第二喷水装置的喷嘴的后方，使水循环流入该第二回收底座。