[发明专利]带有管状阴极的溅射设备和这种溅射设备的操作方法无效
| 申请号： | 200610136160.4 | 申请日： | 2006-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN1986875A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 于尔根·亨里克;安德烈亚斯·索尔;安德烈亚斯·盖斯;费利克斯·布林克曼 | 申请（专利权）人： | 应用材料两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 曲莹;马高平 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带有 管状 阴极 溅射 设备 这种 操作方法 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料两合公司，未经应用材料两合公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200610136160.4/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
