[发明专利]半导体材料、其制造方法以及半导体器件无效
申请号: | 200610136555.4 | 申请日: | 2006-10-25 |
公开(公告)号: | CN1956213A | 公开(公告)日: | 2007-05-02 |
发明(设计)人: | 关章宪;谷由加里;柴田典义 | 申请(专利权)人: | 丰田自动车株式会社;财团法人日本精细陶瓷中心 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L33/00;H01L23/00;H01L21/205;C30B25/02;C30B29/36 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 谷惠敏;钟强 |
地址: | 日本爱知*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体材料 制造 方法 以及 半导体器件 | ||
【说明书】:
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