[发明专利]半导体装置及其制造方法无效
| 申请号： | 200610137356.5 | 申请日： | 2006-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN1979896A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 福田浩一 | 申请（专利权）人： | 冲电气工业株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/41 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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