[发明专利]具有可动导轨的真空传送装置有效
| 申请号： | 200610137735.4 | 申请日： | 2006-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN101045500A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 奥利弗·海梅尔;安德烈亚斯·伊什科;迪特尔·哈斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限责任与两合公司 |
| 主分类号： | B65G49/00 | 分类号： | B65G49/00;B65G49/05;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京华夏正合知识产权代理事务所 | 代理人： | 孙征 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 导轨 真空 传送 装置 | ||
【说明书】：
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