[发明专利]一种等离子体源及其应用

权利要求书

1.一种等离子源，包括螺旋管、阴极与阳极，其特征在于：在阴极与阳极的电源通路中设置螺旋管，螺旋管为空心导体管制成，该中空导体螺旋管的内部通水冷却，其外表面被绝缘；在阳极、螺旋管和阴级之间设置直流电源，利用阴极与阳极之间的放电电流在流经围绕在其放电通道周围的螺旋管时产生空间电磁场，约束带电粒子和增强粒子的离化，构成一种新型等离子源。

2.按照权利要求1所述的等离子源，其特征在于：所述的阳极、螺旋管与阴极之间设置的直流电源的连接方式为：直流电源正极与螺旋管的一端相连通，螺旋管的另一端连通阳极，直流电源负极与阴极相连通。

3.按照权利要求1所述的等离子源，其特征在于：所述的螺旋管与直流电源的连接方式为：螺旋管与阳极之间设置直流电源，直流电源正极与阳极相连通，直流电源负极与螺旋管相连通，螺旋管的另一端连通阴极。

4.按照权利要求1所述的等离子源，其特征在于：所述的阳极、螺旋管与阴极之间设置的直流电源的连接方式为：螺旋管的任一段的两端上分别连通直流电源的正极和负极，直流电源正极靠近阳极，直流电源负极靠近阴极。

5.按照权利要求2、3或4所述的等离子源，其特征在于：在螺旋管的两端连通一个辅助调节直流电源，螺旋管靠近阳极一端与辅助调节直流电源正极连通，螺旋管另一端与辅助调节直流电源的负极连通，对螺旋管所产生的电磁场进一步进行调控。

6.按照权利要求1所述的等离子源，其特征在于：所述的螺旋管轴线为直线或为曲线。

7.按照权利要求1所述的等离子源，其特征在于：所述的螺旋管螺距为均匀分布或根据需要疏密灵活分布。

8.按照权利要求1所述的等离子源，其特征在于：所述的螺旋管截面为均匀截面或变截面。

9.权利要求1至8任一等离子源在蒸发方式中的应用。

10.权利要求1至8任一等离子源在离子清洗中的应用。

11.权利要求1至8任一等离子源在物理气相沉积中作为离化源的辅助增强沉积的应用。

12.权利要求1至8任一等离子源在化学气相沉积中作为离化源的增强沉积的应用。

13.权利要求1至8任一等离子源的复合应用，在低压气相沉积中，预先独立工作进行离子清洗，在物理气相沉积中作为蒸发源和/或辅助增强沉积，在化学气相沉积中作为离化源增强沉积。