[发明专利]具有微结构的玻璃模造模仁的制作方法及玻璃模造模仁

权利要求书

1.一种具有微结构的玻璃模造模仁的制作方法，该方法包括：

(a)在一呈板块状的基材表面以微影技术与蚀刻技术形成数图像；

(b)在该基材形成有该数图像的表面上形成一不与软化状态的玻璃产生化学反应的离型保护层，使该基材与该离型保护层构成一具有该微结构的模造单元；及

(c)将该模造单元以该基材的一相对远离该微结构的底面连结至一底材上，制得该具有微结构的玻璃模造模仁。

2.依据权利要求1所述的具有微结构的玻璃模造模仁的制作方法，其特征在于：该基材的厚度不小于100μm。

3.依据权利要求2所述的具有微结构的玻璃模造模仁的制作方法，其特征在于：该基材是由单晶硅或多晶硅材料构成。

4.依据权利要求1所述的具有微结构的玻璃模造模仁的制作方法，其特征在于：该离型保护层的厚度不大于1μm，且维氏硬度不小于2000度。

5.依据权利要求4所述的具有微结构的玻璃模造模仁的制作方法，其特征在于：该离型保护层是由钻石结构的碳或钛、钽、钨、钼、铝、铂、铼、钌、铱、铑之一或其组合的材料构成。

6.依据权利要求5所述的具有微结构的玻璃模造模仁的制作方法，其特征在于：该离型保护层是以化学气相沉积方式形成。

7.依据权利要求6所述的具有微结构的玻璃模造模仁的制作方法，其特征在于：该离型保护层是以离子镀膜方式形成。

8.依据权利要求1所述的具有微结构的玻璃模造模仁的制作方法，其特征在于：该模造单元是以黏着方式与该底材相连结。

9.依据权利要求8项所述的具有微结构的玻璃模造模仁的制作方法，其特征在于：该模造单元是以一接着剂黏着在该底材上，并经过高温烘烤固化该接着剂后而与该底材相连结。

10.依据权利要求9所述的具有微结构的玻璃模造模仁的制作方法，其特征在于：该接着剂是由氧化铝、氧化锆、氧化硅、氮化硼、石墨、氮化铝、氮化钛之一或其组合材料构成。

11.依据权利要求1所述的具有微结构的玻璃模造模仁的制作方法，其特征在于：该底材是由碳化硅、碳化钨、氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化钛或碳化钽构成。

12.一种玻璃模造模仁，适用于模造成形一玻璃光学组件，其特征在于：

该玻璃模造模仁包含：

一底材，具有一连结面；

一模造单元，具有一呈板块状的基材，及一离型保护层，该基材包括一形成有数图像的表面，及一相反于该表面的底面，该离型保护层设置于该基材的形成有数图像的表面上，且不与软化状态的玻璃产生化学反应，该基材的该具有数图像的表面与该离型保护层构成一可对应模造成该玻璃光学组件的微结构；及

一接着剂，连结该底材的连结面与该基材的底面，使该底材与该模造单元连结成一体。

13.依据权利要求12所述的玻璃模造模仁，其特征在于：该底材是由碳化硅、碳化钨、氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化钛或碳化钽构成。

14.依据权利要求12所述的玻璃模造模仁，其特征在于：该基材的厚度不小于100μm。

15.依据权利要求14所述的玻璃模造模仁，其特征在于：该基材是由单晶硅或多晶硅材料构成。

16.依据权利要求12所述的玻璃模造模仁，其特征在于：该离型保护层的厚度不大于1μm，且维氏硬度不小于2000度。

17.依据权利要求16所述的玻璃模造模仁，其特征在于：该离型保护层是由钻石结构碳或钛、钽、钨、钼、铝、铂、铼、钌、铱或铑金属及其化合物构成。

18.依据权利要求12所述的玻璃模造模仁，其特征在于：该接着剂是由氧化铝、氧化锆、氧化硅、氮化硼、石墨、氮化铝、氮化钛之一或其组合材料构成。