[发明专利]FET器件及其制造方法有效
| 申请号： | 200610139264.0 | 申请日： | 2006-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN1971945A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | D·奇丹巴尔拉奥;B·J·格林;K·里姆 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L27/092;H01L21/336;H01L21/8238 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 于静;刘瑞东 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | fet 器件 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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