[发明专利]混合集成单纤三向器

权利要求书

1.一种混合集成单纤三向器，其特征在于，包括：

一衬底；

一粗波分复用器，该粗波分复用器制作在衬底的上面；

一第一输入波导，该第一输入波导制作在衬底上，该第一输入波导在粗波分复用器的一侧；

一输出波导，该输出波导制作在衬底上，位于粗波分复用器的另一侧；

一波导，该波导制作在衬底上，该波导与输出波导成一倾角；

一第二输入波导，该第二输入波导制作在衬底上，其一端与粗波分复用器相连；

输出波导和第二输入波导同处于粗波分复用器的同一侧；

一激光器，该激光器混合集成在衬底上，该激光器的输出端与第二输入波导的一端相连接；

一监视探测器，该监视探测器混合集成在衬底上，该监视探测器的接收窗口与激光器的另一端相连接；

一集成分波/探测器，该集成分波/探测器混合集成在衬底上，该集成分波/探测器分别与输出波导和波导相连接；

一探测器，该探测器混合集成在衬底上，该探测器与波导的尾端相连接。

2.根据权利要求1所述的混合集成单纤三向器，其特征在于，其中第一输入波导为公用波导，其下传信号波长为1490nm和1550nm，上传信号波长为1310nm。

3.根据权利要求1所述的混合集成单纤三向器，其特征在于，其中集成分波/探测器的探测器的接收窗口蒸镀有中心波长为1550nm或1490nm窄带薄膜干涉滤波膜，用于探测下行的1550nm或1490nm波长信号。

4.根据权利要求1所述的混合集成单纤三向器，其特征在于，其中粗波分复用器用于上传1310nm波长信号和下传1490nm和1550nm波长信号。

5.根据权利要求4所述的混合集成单纤三向器，其特征在于，其中粗波分复用器为多模干涉器或定向耦合器。

6.根据权利要求1所述的混合集成单纤三向器，其特征在于，其中衬底的材料是硅或III-V族化合物半导体。

7.根据权利要求1所述的混合集成单纤三向器，其特征在于，其中所述的粗波分复用器、第一输入波导、输出波导、波导、第二输入波导的材料是二氧化硅波导或绝缘层上硅波导或III-V族化合物波导或有机-无机杂化波导或低损耗聚合物波导。