[发明专利]基板传送装置无效
| 申请号： | 200610141038.6 | 申请日： | 2006-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1939816A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 须山敏明;川原慎;山崎胜;六川贵博 | 申请（专利权）人： | 新光电气工业株式会社 |
| 主分类号： | B65G13/00 | 分类号： | B65G13/00;B65G49/00;B65G49/05;B65H9/16;B08B3/04;H01L21/677;H01L21/687;H05K13/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾红霞;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传送 装置 | ||
【说明书】：
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