[发明专利]氧化铈研磨剂以及基板的研磨方法有效
| 申请号： | 200610142509.5 | 申请日： | 1997-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1935927A | 公开（公告）日： | 2007-03-28 |
| 发明（设计）人： | 吉田诚人;芦泽寅之助;寺崎裕树;仓田靖;松泽纯;丹野清仁;大槻裕人 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 钟晶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化 研磨剂 以及 研磨 方法 | ||
【权利要求书】：
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