[发明专利]微型流体系统用支撑单元及其制造方法

权利要求书

1.一种微型流体系统用支撑单元，其特征在于，具备：

第一支撑体；

设在该第一支撑体表面的第一粘合剂层；

作为微型流体系统的流路层来发挥功能的至少两个中空细丝；该中空细 丝在前述第一支撑体上的第一粘合剂层的表面固定为任意形状，至少一个中 空细丝与其他至少一个中空细丝交叉；

覆盖在所述中空细丝的表面的第二粘合剂层；以及

设在所述第二粘合剂层的表面的第二支撑体。

2.根据权利要求1所述的微型流体系统用支撑单元，其特征在于，前述 中空细丝的一部分从前述第一支撑体露出。

3.根据权利要求1或2所述的微型流体系统用支撑单元，其特征在于， 在前述中空细丝的至少一个的一部分形成有金属膜。

4.根据权利要求1～3中的任一项的微型流体系统用支撑单元，其特征 在于，前述中空细丝的至少一个的一部分具备光透过部。

5.根据权利要求1～4中的任一项的微型流体系统用支撑单元，其特征 在于，前述中空细丝的至少一个的一部分具有光透过性。

6.根据权利要求1～5中的任一项的微型流体系统用支撑单元，其特征 在于，前述中空细丝是在埋入由粘合剂构成的前述第一和第二粘合剂层的状 态下粘接的。

7.根据权利要求1～6中的任一项的微型流体系统用支撑单元，其特征 在于，在前述第一支撑体的表面形成端子或电路。

8.根据权利要求1～7中的任一项的微型流体系统用支撑单元，其特征 在于，在前述第一支撑体的表面安装从微型机械、发热组件、压电组件、感 应器、电子零件、光部件中选择的至少一个。