[发明专利]工作台组件,包含它的粒子光学设备及处理样品的方法有效
| 申请号： | 200610143243.6 | 申请日： | 2006-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN1959416A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | H·G·塔佩尔;I·J·B·希斯范;D·兰克斯;G·N·A·维恩范;R·杨;L·A·吉安努兹 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N35/00 | 分类号： | G01N35/00;G01N13/00;H01J37/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京;杨松龄 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工作台 组件 包含 粒子 光学 设备 处理 样品 方法 | ||
【说明书】：
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