[发明专利]一种包含两种极化方向压电薄膜的传感振动膜

权利要求书

1.一种包含两种极化方向压电薄膜的传感振动膜，由由下至上的支撑层、下电极、压电薄膜和上电极组成；其特征在于，所述上电极包括相互分离的第一上电极和第二上电极，所述下电极为公共下电极，所述压电薄膜包括位于第一上电极正下方的第一压电薄膜区域，和位于第二上电极正下方的第二压电薄膜区域，所述第一压电薄膜区域与第二压电薄膜区域的极化方向相反，所述第一上电极和第二上电极分别作为整个振动膜的输入输出电极。

2.一种包含两种极化方向压电薄膜的传感振动膜，由由下至上的支撑层、下电极、压电薄膜和上电极组成；其特征在于，所述上电极包括相互分离的第一上电极和第二上电极，所述下电极为公共下电极，所述压电薄膜包括位于第一上电极正下方的第一压电薄膜区域，和位于第二上电极正下方的第二压电薄膜区域，所述第一压电薄膜区域与第二压电薄膜区域的极化方向相反；一组所述第一上电极、第二上电极、第一压电薄膜区域、第二压电薄膜区域和公共下电极构成一个压电传感单元；

所述支撑层上具有n个压电传感单元，从第一个压电传感单元起，每一个压电传感单元的第二上电极与下一个压电传感单元的第一上电极电连接，直至第n个压电传感单元，将极化电压正、负极分别加在第一个压电传感单元的第一上电极和第n个压电传感单元的第二上电极上对整个压电薄膜进行极化，将第一个压电传感单元的第一上电极和第n个压电传感单元的第二上电极分别作为整个振动膜的输入输出电极，其中n为2～512之间的整数。

3.按权利要求1或2所述的包含两种极化方向压电薄膜的传感振动膜，其特征在于，所述压电薄膜是锆钛酸铅或聚氟乙烯聚合物制作的压电薄膜。

4.按权利要求1或2所述的包含两种极化方向压电薄膜的传感振动膜，其特征在于，所述压电薄膜的厚度在0.01um～300um之间。

5.按权利要求4所述的包含两种极化方向压电薄膜的传感振动膜，其特征在于，所述压电薄膜是单层薄膜或由多层薄膜组成。

6.按权利要求1或2所述的包含两种极化方向压电薄膜的传感振动膜，其特征在于，所述支撑层是氮化硅薄膜、二氧化硅薄膜、多晶硅薄膜、硅薄膜或以上薄膜组成的复合膜。

7.按权利要求1或2所述的包含两种极化方向压电薄膜的传感振动膜，其特征在于，所述支撑层厚度为0.01um～500um。

8.按权利要求1或2所述的包含两种极化方向压电薄膜的传感振动膜，其特征在于，所述支撑层的形状是矩形或圆形。

9.按权利要求1或2所述的包含两种极化方向压电薄膜的传感振动膜，其特征在于，所述第一压电薄膜区域与第二压电薄膜区域的极化方向相反是通过将极化电压正、负极分别加在所述第一上电极和第二上电极上进行极化而实现的。