[发明专利]半导体图形形状评价装置及形状评价方法无效
| 申请号： | 200610144417.0 | 申请日： | 2006-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN1971571A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 长友涉;宫本敦;松冈良一 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许静 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 图形 形状 评价 装置 方法 | ||
【说明书】：
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