[发明专利]高纯度多结晶硅的制造方法及制造装置有效
| 申请号： | 200610145199.2 | 申请日： | 2006-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN1974383A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 本田终一;安枝稔;林田智;山口雅嗣;田中亨 | 申请（专利权）人： | 智索株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本大阪府大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纯度 结晶 制造 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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