[发明专利]一种提高小尺寸钟罩容积测量准确度的校准装置及其校准方法有效
| 申请号： | 200610145875.6 | 申请日： | 2006-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN1948930A | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | 李强;杨宏海 | 申请（专利权）人： | 北京航天计量测试技术研究所 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 | 代理人： | 安丽 |
| 地址： | 100076*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提高 尺寸 容积 测量 准确度 校准 装置 及其 方法 | ||
【说明书】：
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