[发明专利]检测晶圆边缘洗边效果的装置及方法

权利要求书

1.一种检测晶圆边缘洗边效果的装置，其特征在于，包括，

晶圆架，用于放置晶圆；

光敏传感器，用于向放置晶圆的平面发射探测光探测晶圆是否存在，并发送探测结果信号；

颜色分辨光敏传感器，位于晶圆上有铜薄膜面的上方，用于通过接收向晶圆边缘发射的分辨光的反射光分辨晶圆边缘有无铜薄膜，并发送分辨结果信号；可编程逻辑控制单元，用于接收并根据探测结果信号和分辨结果信号判断晶圆边缘洗边是否成功，并报告判断结果。

2.如权利要求1所述的检测晶圆边缘洗边效果的装置，其特征在于，所述装置位于晶圆传送站中。

3.如权利要求1所述的检测晶圆边缘洗边效果的装置，其特征在于，所述光敏传感器位于放置晶圆的平面的垂直空间里。

4.如权利要求3所述的检测晶圆边缘洗边效果的装置，其特征在于，所述光敏传感器位于晶圆下方。

5.如权利要求1所述的检测晶圆边缘洗边效果的装置，其特征在于，所述颜色分辨光敏传感器所发射的分辨光由红、蓝和绿三色光构成。

6.如权利要求5所述的检测晶圆边缘洗边效果的装置，其特征在于，所述分辨光直径为2.5mm，投射在距离晶圆边缘0-2.5mm处。

7.一种检测晶圆边缘洗边效果的方法，其特征在于，包括下列步骤，

光敏传感器向放置晶圆的平面发出探测光探测晶圆架上有无晶圆；颜色分辨光敏传感器发射分辨光；

当光敏传感器探测到晶圆架上的晶圆时，向可编程逻辑控制单元发送探测结果信号通知可编程逻辑控制单元晶圆已存在；颜色分辨光敏传感器根据晶圆边缘反射的分辨光分辨晶圆边缘有无铜薄膜，并向可编程逻辑控制单元发送分辨结果信号；

可编程逻辑控制单元接收并根据探测结果信号和分辨结果信号判断晶圆边缘洗边是否成功，并报告判断结果。

8.如权利要求7所述的检测晶圆边缘洗边效果的方法，其特征在于可编程逻辑控制单元通过控制红绿灯报告判断结果。

9.如权利要求8所述的检测晶圆边缘洗边效果的方法，其特征在于所述控制红绿灯报告判断结果包括发送OK信号保持绿灯来代表洗边成功以及发送NG信号点亮红灯、熄灭绿灯来代表洗边失败。

10.如权利要求8或9所述的检测晶圆边缘洗边效果的方法，其特征在于红绿灯的红灯上连接一个声音报警器，当红灯亮起时，启动声音报警器发出报警声音。