[发明专利]有机发光显示器基板电极的图形化方法

权利要求书

1.一种有机发光显示器基板电极的图形化方法，其特征在于，方法的步骤如下：

1)制作包含透明导电氧化物电极图形及金属电极图形的第一掩膜版；

2)在带有金属的透明导电氧化物电极玻璃上途敷正性光刻胶；

3)用第一掩膜版作为掩膜，进行曝光；

4)显影、烘烤；

5)对金属进行蚀刻；

6)对透明导电氧化物电极进行蚀刻；脱膜；

7)制作包含覆盖金属电极区域的图形的第二掩膜版；

8)在基板上途敷正性光刻胶；

9)用第二掩膜版作为掩膜，进行曝光；

10)显影、烘烤；

11)对金属进行蚀刻；脱膜。

2.根据权利要求1所述的有机发光显示器基板电极的图形化方法，其特征在于，所述的第一掩膜版包括透明导电氧化物阳极图形、阳极引出线透明导电氧化物电极图形和阴极引出线透明导电氧化物电极图形。

3.根据权利要求1所述的有机发光显示器基板电极的图形化方法，其特征在于，所述的透明导电氧化物为氧化铟锡、氧化铟锌。

4.根据权利要求1所述的有机发光显示器基板电极的图形化方法，其特征在于，所述的金属电极为Cr、Cr的合金。