[发明专利]阻挡膜形成用材料及使用了它的图案形成方法无效
| 申请号： | 200610148582.3 | 申请日： | 2006-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN1967387A | 公开（公告）日： | 2007-05-23 |
| 发明（设计）人： | 远藤政孝;笹子胜 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阻挡 形成 用材 料及 使用 图案 方法 | ||
【权利要求书】：
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