[发明专利]裁切气体管路的方法与装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种裁切气体管路的方法与装置，特别是涉及一种减少气体外泄的裁切气体管路的方法与装置。

背景技术

随着积体电路的技术越来越成熟，对于积体电路厂房设备规模的要求也越来越高，而其中管路配设的复杂程度也随之提升。举例而言，半导体制程工场中的扩散制程、离子布植制程，与薄膜沉积制程中，常会用到种种气体以进行反应。

厂房中所使用的气体可能包含有一般气体，如氮气、氩气等，也可能包含有危险气体，如具腐蚀性的氨气、溴化氢、六氟化钨与三氟化硼等，具强氧化力的氧气、臭氧、三氟化氮等，易燃且有毒的的硅烷、二氯硅烷(dichlorosilane；DCS)、三氯硅烷(Trichlorosilane；TCS)、氢气与四乙氧基硅烷等，或是具有毒性的氯气、三氢化磷与氢化硼等。上述的危险气体若是不小心外漏，将会造成人员与设备的损失。

现有习知的裁切气体管路方法是为以切管器或锯片直接锯断气体管路，虽然简单，却隐含些许风险。在进行气体管路裁切时，即使已将气体源关闭，管路中所残存的气体，仍会由切断管路所产生的开口逸散漏出，若是不小心误切到正在使用中的管路，更会导致大量的气体漏出，若是漏出的是危险气体，则可能会导致人员中毒、腐蚀人员与设备，或者有爆炸的危险。因此，需要一种裁切气体管路的方法，能在裁切气体管路时，减少或防止管中残存的危险气体溢出所造成的伤害。

有鉴于上述现有的裁切气体管路的方法存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新的裁切气体管路的方法与装置，能够改进一般现有的裁切气体管路的方法，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

本发明的主要目的在于，克服现有的裁切气体管路的方法存在的缺陷，而提供一种新的裁切气体管路的方法，所要解决的技术问题是使其减少裁切时管中残存气体溢出，从而更加适于实用。

本发明的另一目的在于，克服现有的裁切气体管路的装置存在的缺陷，而提供一种新型结构的裁切气体管路的装置，所要解决的技术问题是使其减少不慎误切管路时，管中的危险气体溢出所造成的影响。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种裁切气体管路的方法，包括以下步骤：选择一气体管路；夹钳或滚压该气体管路，以形成一颈形区间于该气体管路；以及切割该颈形区间，以裁切该气体管路。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的裁切气体管路的方法，其中所述的夹钳或滚压该气体管路包含封闭该气体管路，以形成该颈形区间。

前述的裁切气体管路的方法，其中所述的夹钳或滚压该气体管路包含半封闭该气体管路，以形成该颈形区间。

前述的裁切气体管路的方法，其中所述的气体管路包含一气体，其中该气体是于该气体管路中流动。

前述的裁切气体管路的方法，其中所述的气体是为一般气体。

前述的裁切气体管路的方法，其中所述的气体是为一危险气体。本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的一种裁切气体管路的装置，以裁切一气体管路，包含：一夹钳或滚压装置，用以夹钳或滚压该气体管路，并形成一颈形区间于该气体管路；以及一切割装置，用以切割该颈形区间，以裁切该气体管路。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的裁切气体管路的装置，其中所述的颈形区间是为该气体管路的一封闭区间。

前述的裁切气体管路的装置，其中所述的颈形区间是为该气体管路的一半封闭区间。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上可知，为了达到上述目的，本发明提供了一种裁切气体管路的方法，包含选择一气体管路，接着夹钳或滚压此气体管路，以形成一颈形区间于气体管路，以及切割颈形区间，以裁切气体管路。夹钳或滚压气体管路的步骤，包含封闭或半封闭此气体管路，以形成颈形区间。气体管路可为一金属管路，如一铜管路或为一不锈钢管路。气体管路亦可为一聚氯乙烯塑胶管路。气体管路可包含一气体，其中气体是于气体管路中流动。气体可为一一般气体或为一危险气体。危险气体可为一有毒气体、一易爆气体、或具有腐蚀性。