[发明专利]等离子体反应器中离子密度、能量分布及解离的独立控制无效
| 申请号： | 200610150519.3 | 申请日： | 2006-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN1953635A | 公开（公告）日： | 2007-04-25 |
| 发明（设计）人： | 约翰·P·荷文;丹尼尔·J·霍夫曼 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/02 | 分类号： | H05H1/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 反应器 离子 密度 能量 分布 解离 独立 控制 | ||
【说明书】：
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