[发明专利]五沟道鳍式晶体管及其制造方法有效
申请号: | 200610150790.7 | 申请日: | 2006-10-26 |
公开(公告)号: | CN1992340A | 公开(公告)日: | 2007-07-04 |
发明(设计)人: | 金光玉 | 申请(专利权)人: | 海力士半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L21/336 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 杨生平;杨红梅 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 沟道 晶体管 及其 制造 方法 | ||
【说明书】:
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