[发明专利]基于谐波共振方法的并行激光直接写入方法与装置有效
| 申请号： | 200610150983.2 | 申请日： | 2006-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN1952789A | 公开（公告）日： | 2007-04-25 |
| 发明（设计）人： | 谭久彬;单明广;刘俭 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001黑*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 谐波 共振 方法 并行 激光 直接 写入 装置 | ||
【权利要求书】：
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