[发明专利]有机薄膜三极管传感器、制作方法及用途

权利要求书

1.一种有机薄膜三极管传感器，其组成包括：铝蒸发膜构成的栅极，其特征是：所述的铝蒸发膜栅极两侧具有有机半导体的酞菁铜薄膜，两者之间形成肖特基壁垒，源极和漏极采用与酞菁铜蒸发膜成欧姆性接触的金蒸发膜，所述的漏极为多孔的金电极，所述的漏极和酞菁铜之间具有有机气体敏感膜。

2.根据权利要求1所述的有机薄膜三极管传感器，其特征是：所述的酞菁铜可采用镧系金属配合物的双核酞菁、稀土金属配位的三明治结构酞菁、16氟取代的酞菁锌。

3.一种权利要求1或2所述的有机薄膜三极管传感器的制作方法，其特征是：首先在玻璃基板上制作金蒸发膜源电极，然后制作第一层CuPc蒸发膜，和制作薄膜铝栅极及第二层CuPc薄膜，最后制作金蒸发膜漏电极。试样制作的条件是，CuPc的蒸发温度为400℃、基板温度为室温20℃，上下二层CuPc薄膜膜厚由蒸发时间控制、蒸发速度为3nm/min。上下二层CuPc薄膜膜厚度分别为70nm，130nm，半导电薄膜铝栅极厚度为20nm。

4.一种权利要求1、2、3所述的有机薄膜三极管传感器在特定气体微量的测定方面的应用。