[发明专利]减压处理室内的部件清洁方法和基板处理装置有效
| 申请号： | 200610151435.1 | 申请日： | 2004-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN1931453A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 守屋刚;长池宏史;中山博之 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B08B7/02 | 分类号： | B08B7/02;B08B7/00;G01N21/49 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 减压 处理 室内 部件 清洁 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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