[发明专利]高解析度负型光阻剂

权利要求书

1.一种光阻剂，是由高分子树脂、颜料、感光起始剂、单体、溶剂，以及添加剂所组成；其中，该高分子树脂为分子量低于40,000。

2.一种光阻剂，是由高分子树脂、颜料、感光起始剂、单体、溶剂，以及添加剂所组成；其中，该高分子树脂的分子量分布范围小于3.5。

3.如权利要求1或2所述的光阻剂，其中该高分子树脂的分子量低于20,000为佳。

4.如权利要求1或2所述的光阻剂，该高分子树脂在光阻剂中的重量百分比为6％至50％。

5.如权利要求3所述的光阻剂，其中该高分子树脂在光阻剂中的重量百分比为6％至50％。

6.如权利要求1或2所述的光阻剂，该高分子树脂为含羧酸基的聚合物或共聚物。

7.如权利要求3所述的光阻剂，该高分子树脂为含羧酸基的聚合物或共聚物。

8.如权利要求4所述的光阻剂，该高分子树脂为含羧酸基的聚合物或共聚物。

9.如权利要求6所述的光阻剂，该该高分子树脂可为压克力树脂、压克力-环氧树脂、压克力-美耐皿树脂、压克力-苯乙烯树脂、苯酚-酚醛树脂的任一种或以上树脂的任意混合。

10.如权利要求1或2所述的光阻剂，该颜料在光阻剂中的重量百分比为2％至15％。

11.如权利要求3所述的光阻剂，该颜料在光阻剂中的重量百分比为2％至15％。

12.如权利要求1或2所述的光阻剂，该颜料为CI颜料黄、CI颜料橙、CI颜料红、CI颜料紫、CI颜料蓝、CI颜料绿、CI颜料棕、CI颜料黑的无机颜料或有机颜料的任一种，或以上颜料的任意混合。

13.如权利要求3所述的光阻剂，该颜料为CI颜料黄、CI颜料橙、CI颜料红、CI颜料紫、CI颜料蓝、CI颜料绿、CI颜料棕、CI颜料黑的无机颜料或有机颜料的任一种，或以上颜料的任意混合。

14.如权利要求10所述的光阻剂，该颜料为CI颜料黄、CI颜料橙、CI颜料红、CI颜料紫、CI颜料蓝、CI颜料绿、CI颜料棕、CI颜料黑的无机颜料或有机颜料的任一种，或以上颜料的任意混合。

15.如权利要求1或2所述的光阻剂，该单体在光阻剂中的重量百分比为2％至10％。

16.如权利要求3所述的光阻剂，该单体在光阻剂中的重量百分比为2％至10％。

17.如权利要求1或2所述的光阻剂，该单体可为水溶性单体。

18.如权利要求3所述的光阻剂，该单体可为水溶性单体。

19.如权利要求1或2所述的光阻剂，该单体可为非水溶性单体。

20.如权利要求3所述的光阻剂，该单体可为非水溶性单体。

21.如权利要求1或2所述的光阻剂，该单体可为水溶性单体与非水溶性单体所混合。

22.如权利要求3所述的光阻剂，该单体可为水溶性单体与非水溶性单体所混合。

23.如权利要求21所述的光阻剂，该水溶性单体在单体中的重量百分比为5％至95％。

24.如权利要求21所述的光阻剂，该非水溶性单体在单体中的重量百分比为5％至95％。

25.如权利要求1或2所述的光阻剂，该光起始剂在光阻剂中的重量百分比为1％至10％。

26.如权利要求3所述的光阻剂，该光起始剂在光阻剂中的重量百分比为1％至10％。

27.如权利要求1或2所述的光阻剂，该光起始剂为I线光起始剂、苯乙酮系化合物、二苯甲酮系化合物或二咪唑系化合物的任一种或以上光起始剂的任意混合。

28.如权利要求3所述的光阻剂，该光起始剂为I线光起始剂、苯乙酮系化合物、二苯甲酮系化合物或二咪唑系化合物的任一种或以上光起始剂的任意混合。