[发明专利]基板结构及基板结构的制作方法有效

专利信息
申请号: 200610154397.5 申请日: 2006-09-25
公开(公告)号: CN101154643A 公开(公告)日: 2008-04-02
发明(设计)人: 詹立雄;萧名君;林蔚伶;魏宏吉 申请(专利权)人: 财团法人工业技术研究院
主分类号: H01L23/498 分类号: H01L23/498;H01L21/48;H05K1/02;H05K3/10
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 陶凤波
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 板结 制作方法
【权利要求书】:

1.一种基板结构,包括:

具挠曲性的基板;和

无机电极结构,设置在该具挠曲性的基板上;

其中该无机电极结构包括导体或半导体层。

2.如权利要求1所述的基板结构,其中该无机电极结构还包括纳米碳管、纳米碳纤、纳米线材或微米线材。

3.如权利要求1所述的基板结构,其中该具挠曲性的基板包括聚乙烯(PE)、聚酰亚胺(PI)、聚乙烯醇(PVA)或聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)。

4.如权利要求1所述的基板结构,其中该无机电极结构是阴极电极结构,其包括平面三极结构、垂直三极结构或底栅极(under gate)三极结构。

5.一种基板结构的制作方法,包括:

提供第一基板;

网印无机电极结构在该第一基板上;

涂布可挠性基板在该第一基板上且覆盖该无机电极结构;并且

自该第一基板上将该可挠性基板分离,使得该无机电极结构黏结于该可挠性基板。

6.如权利要求5所述的基板结构的制作方法,其中该网印无机电极结构包括形成阴极电极、电子场发射源在该阴极电极上和栅极在该第一基板上。

7.如权利要求5所述的基板结构的制作方法,其中该无机电极结构是阴极电极结构,其包括平面三极结构、垂直三极结构或底栅极(under gate)三极结构。

8.如权利要求5所述的基板结构的制作方法,其中该无机电极结构还包括纳米碳管、纳米碳纤、纳米线材或微米线材。

9.如权利要求5所述的基板结构的制作方法,其中该可挠性基板包括聚乙烯(PE)、聚酰亚胺(PI)、聚乙烯醇(PVA)或聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)。

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