[发明专利]半导体器件及其制造方法有效
申请号: | 200610159801.8 | 申请日: | 2002-10-30 |
公开(公告)号: | CN1945856A | 公开(公告)日: | 2007-04-11 |
发明(设计)人: | 丸山纯矢;高山彻;后藤裕吾 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L29/00;H01L27/12;H01L27/32;H01L51/50;H01L21/336;H01L21/84;H01L21/00;H01L51/56 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 陈景峻 |
地址: | 日本神奈*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【说明书】:
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