[发明专利]光学式异物检测装置和搭载有该装置的处理液涂布装置有效
| 申请号： | 200610159929.4 | 申请日： | 2006-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN1940537A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 大塚庆崇;中满孝志;高木贵生;稻益寿史 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;H01L21/66;B05C5/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 异物 检测 装置 搭载 处理 液涂布 | ||
【说明书】：
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