[发明专利]操作真空沉积装置的方法和真空沉积装置无效
| 申请号： | 200610160377.9 | 申请日： | 2006-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN1966757A | 公开（公告）日： | 2007-05-23 |
| 发明（设计）人： | 粟田英章;江村胜治;吉田健太郎 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴;巫肖南 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 操作 真空 沉积 装置 方法 | ||
【说明书】：
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