[发明专利]液滴喷射头、其制造方法以及液滴喷射装置有效
| 申请号： | 200610164560.6 | 申请日： | 2006-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN101054019A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | 井上洋;片冈雅树;村上裕纪 | 申请（专利权）人： | 富士施乐株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/16;C23C16/22;C23C16/56;C09K3/18 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁香兰;谢栒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 喷射 制造 方法 以及 装置 | ||
1.一种液滴喷射头，所述液滴喷射头配备有液体喷射能量驱动装置以从喷嘴喷出液体，所述液滴喷射头包括：
喷嘴板，该喷嘴板具有用于喷射液滴的所述喷嘴；
设置在该喷嘴板上的四面体非晶碳膜；以及
设置在该四面体非晶碳膜上的疏水膜。
2.如权利要求1所述的液滴喷射头，其中，所述四面体非晶碳膜是通过等离子体增强化学气相沉积法或者阴极电弧法而形成的。
3.如权利要求1所述的液滴喷射头，其中，所述四面体非晶碳膜的厚度约为3纳米～80纳米。
4.如权利要求1所述的液滴喷射头，其中，所述疏水膜包含氟类树脂。
5.如权利要求4所述的液滴喷射头，其中，所述包含氟类树脂的疏水膜是通过等离子体增强化学气相生长法或沉积法而形成的。
6.如权利要求4所述的液滴喷射头，其中，所述包含氟类树脂的疏水膜是通过以下方式形成的：通过等离子体增强化学气相生长法或沉积法来形成氟类树脂的前体，然后通过加热使该氟类树脂前体聚合。
7.如权利要求1所述的液滴喷射头，其中，所述疏水膜的厚度约为1纳米～30纳米。
8.如权利要求1所述的液滴喷射头，其中，所述喷嘴板包含聚酰亚胺树脂。
9.一种液滴喷射头的制造方法，所述液滴喷射头配备有液体喷射能量驱动装置以从喷嘴喷出液体，所述制造方法包括：
在喷嘴板上形成用于喷射液滴的喷嘴之前，在该喷嘴板上形成四面体非晶碳膜；
在该四面体非晶碳膜上形成疏水膜；以及
在所述喷嘴板上形成所述喷嘴。
10.如权利要求9所述的液滴喷射头的制造方法，其中，所述四面体非晶碳膜是通过等离子体增强化学气相沉积法或者阴极电弧法而形成的。
11.如权利要求9所述的液滴喷射头的制造方法，其中，所述四面体非晶碳膜的厚度约为3纳米～80纳米。
12.如权利要求9所述的液滴喷射头的制造方法，其中，所述疏水膜包含氟类树脂。
13.如权利要求12所述的液滴喷射头的制造方法，其中，所述包含氟类树脂的疏水膜是通过等离子体增强化学气相生长法或沉积法而形成的。
14.如权利要求12所述的液滴喷射头的制造方法，其中，所述包含氟类树脂的疏水膜是通过以下方式而形成的：通过等离子体增强化学气相生长法或沉积法来形成氟类树脂的前体，然后通过加热使该氟类树脂前体聚合。
15.如权利要求9所述的液滴喷射头的制造方法，其中，所述疏水膜的厚度约为1纳米～30纳米。
16.如权利要求9所述的液滴喷射头的制造方法，其中，所述喷嘴板包含聚酰亚胺树脂。
17.如权利要求9所述的液滴喷射头的制造方法，其中，所述的在喷嘴板上形成喷嘴包括：用激光照射所述喷嘴板的与形成有所述疏水膜的表面相反的表面。
18.如权利要求17所述的液滴喷射头的制造方法，其中，所述激光是受激准分子激光。
19.一种液滴喷出装置，该装置配备有权利要求1～8中任一项所述的液滴喷射头。
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