[发明专利]共焦显微中远红外探测器光谱响应测量系统

权利要求书

1.一种共焦显微中远红外探测器光谱响应测量系统，其特征在于，该测量系统包括：

一红外光源；

一红外单色仪，该红外单色仪的输入端与红外光源的输出端相连接，起红外分光作用；

一红外共焦显微系统，该红外共焦显微系统位于红外单色仪输出光路上，可得到待测样品的表面结构显微成像，同时使红外入射光聚焦于样品表面；

一斩波限光单元，该斩波限光单元位于红外共焦显微系统和三维微动平台之间，并位于红外单色仪的输出光路上；

一三维微动平台，该三维微动平台位于红外单色仪的输出光路上，处于红外共焦显微系统后端，可三维调节安装在其上的样品致冷杜瓦的位置，使样品处于最佳聚焦位置；

一样品致冷杜瓦，该样品致冷杜瓦固定在三维微动平台上，对安放在其中的样品起到致冷和导出样品电信号作用；

一前置放大器，该前置放大器与样品致冷杜瓦相连接，起到对样品电信号的放大作用；

一锁相放大器，该锁相放大器与前置放大器相连接；

一控制计算机，该控制计算机与锁相放大器和红外单色仪相连接，控制锁相放大器和红外单色仪实施测试过程，同时采集由锁相放大器和红外单色仪输入的数据信号。

2.根据权利要求1所述的共焦显微中远红外探测器光谱响应测量系统，其特征在于，其中红外光源系统包括：一红外光源和一镀金膜的凹面反射镜，该凹面反射镜位于红外光源的出射光路上。

3.根据权利要求1所述的共焦显微中远红外探测器光谱响应测量系统，其特征在于，其中红外单色仪包括：

一第一入射狭缝；

一第一镀金膜的凹面反射镜，接收红外光源系统的镀金膜的凹面反射镜的反射光，该镀金膜的凹面反射镜的反射光穿过该第一入射狭缝；

一第二镀金膜的凹面反射镜，接收第一镀金膜的凹面反射镜的反射光；

一第三镀金膜的凹面反射镜；

一计算机可控旋转的光栅座，该计算机可控旋转的光栅座接收该第二镀金膜的凹面反射镜的反射光并反射至第三镀金膜的凹面反射镜；

一第二出射狭缝，  第三镀金膜的凹面反射镜的反射光穿过该第二出射狭缝。

4.根据权利要求3所述的共焦显微中远红外探测器光谱响应测量系统，其特征在于，其中计算机可控旋转的光栅座包括：一可见光光栅、一镀金膜的近红外光栅、一镀金膜的中远红外光栅，该一可见光光栅、一镀金膜的近红外光栅、一镀金膜的中远红外光栅为等腰三角形放置。

5.根据权利要求1所述的共焦显微中远红外探测器光谱响应测量系统，其特征在于，其中所述的红外共焦显微系统包括：

一白光光源；

一第一半透半反镜，该第一半透半反镜成一夹角位于红外单色仪的输出光路上；

一第二半透半反镜，该第二半透半反镜位于第一半透半反镜的反射光路上；

一摄相头，该摄相头位于第二半透半反镜的反射光路上，并与一显示器相连接；

一一维可调平移台，该一维可调平移台位于红外单色仪的输出光路上。

6.根据权利要求5所述的共焦显微中远红外探测器光谱响应测量系统，其特征在于，其中所述的一维可调平移台还包括有两个三维可调透镜。

7.根据权利要求6所述的共焦显微中远红外探测器光谱响应测量系统，其特征在于，其中所述的两个三维可调透镜的材料为ZnSe。

8.根据权利要求5所述的共焦显微中远红外探测器光谱响应测量系统，其特征在于，其中第一半透半反镜为ZnSe材料。

9.根据权利要求1所述的共焦显微中远红外探测器光谱响应测量系统，其特征在于，其中所述的斩波限光单元包括：一可调光阑、一斩波器、一挡光板，该斩波器位于可调光阑和挡光板之间。