[发明专利]一种石英材料零件的清洗方法

权利要求书

1.一种石英材料零件的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：

A、用有机溶剂擦拭零件表面；

B、用质量含量比为1％～10％双氧水H202水溶液浸泡零件设定的浸泡时间；

C、用低粗糙度的擦拭物在包括过硫酸铵(NH₄)₂S₂O₈和非离子表面活性剂的水溶液中擦拭零件的表面；过硫酸铵和非离子表面活性剂与水的质量百分比含量为：

过硫酸铵            1％-5％

非离子表面活性剂    1％-5％

水                  余量；

D、将零件放入超声槽中，清洗设定的超声波清洗时间，进行超声波清洗。

2.根据权利要求1所述的石英材料零件的清洗方法，其特征在于，所述的非离子表面活性剂包括聚乙二醇或甲氧基聚乙二醇。

3.根据权利要求1或2所述的石英材料零件的清洗方法，其特征在于，所述的步骤B包括：用6wt％双氧水H₂O₂水溶液浸泡零件设定的浸泡时间。

4.根据权利要求1或2所述的石英材料零件的清洗方法，其特征在于，所述的过硫酸铵和非离子表面活性剂与水的质量百分比含量为：

过硫酸铵            1％

非离子表面活性剂    1％

水                  余量。

5.根据权利要求1或2所述的石英材料零件的清洗方法，其特征在于，所述的步骤A前、步骤A后、步骤B后、步骤C后和/或步骤D后还包括：

用超纯水清洗零件表面；具体用超纯水喷淋零件表面不少于设定的喷淋时间，用洁净的高压气体吹干零件的表面。

6.根据权利要求1或2所述的石英材料零件的清洗方法，其特征在于，所述的步骤A包括：用有机溶剂擦拭零件，直至无带色的杂质脱落；所述的有机溶剂为纯乙醇或纯丙酮。

7.根据权利要求1或2所述的石英材料零件的清洗方法，其特征在于，所述的步骤D包括：

D1、将零件放入超纯水的超声槽中以10-26KHz频率进行清洗20-40分钟，超纯水水温为40-70℃，超声能量密度小于30瓦/加仑；和/或，

D2、将零件放入去离子水的超声槽中以较30-45KHz频率进行清洗20-30分钟，去离子水水温为40-70℃，超声能量密度小于30瓦/加仑。

8.根据权利要求7所述的石英材料零件的清洗方法，其特征在于，在进行超声波清洗过程中在零件与超声槽托板之间垫有无尘布以防止水印。

9.根据权利要求1或2所述的石英材料零件的清洗方法，其特征在于，所述的方法最后还包括：

将零件在80℃～120℃环境下烘烤零件进行烘干处理。