[发明专利]激光加工装置有效
申请号: | 200610166793.X | 申请日: | 2006-11-30 |
公开(公告)号: | CN1974104A | 公开(公告)日: | 2007-06-06 |
发明(设计)人: | 能丸圭司 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪斯科 |
主分类号: | B23K26/04 | 分类号: | B23K26/04;B23K26/42;B23K26/067;B23K26/06;B23K26/40;H01L21/304;H01L21/78;B28D5/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 黄剑锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 加工 装置 | ||
【权利要求书】:
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