[发明专利]低温气体制冷提高MCVD沉积效率与质量的方法和装置无效
| 申请号： | 200610169729.7 | 申请日： | 2006-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101041550A | 公开（公告）日： | 2007-09-26 |
| 发明（设计）人： | 魏淮;郑凯;毛向桥;彭健;李宏雷 | 申请（专利权）人： | 北京交通大学 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 北京市商泰律师事务所 | 代理人： | 齐玲;毛燕生 |
| 地址： | 100044*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 低温 气体 制冷 提高 mcvd 沉积 效率 质量 方法 装置 | ||
【说明书】：
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