[发明专利]电感耦合线圈及应用该线圈的电感耦合等离子体装置有效
| 申请号： | 200610171549.2 | 申请日： | 2006-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN101211687A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 胡立琼 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01F5/00 | 分类号： | H01F5/00;H01F38/14;H05H1/46;H05H1/50;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵镇勇;崔英华 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 线圈 应用 等离子体 装置 | ||
1.一种电感耦合线圈，其特征在于，由多个结构相同的独立分支嵌套构成，所述多个独立分支相对所述电感耦合线圈的轴线呈中心对称布置。
2.根据权利要求1所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述的独立分支有四个，相邻两个独立分支的方位角相差90°。
3.根据权利要求2所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述的每个独立分支包括多段同心线圈连接而成为平面结构，相邻两段同心线圈的旋向相反。
4.根据权利要求3所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述的每个独立分支包括四段线圈，由内向外分别为，
第一段线圈：为一圆心角为90°的圆弧，顺时针转90°后至第二段线圈的起始方位角；
第二段线圈：逆时针转略小于90°角度的圆弧至第三段线圈的起始方位角；
第三段线圈：顺时针转略小于90°角度的圆弧至第四段线圈的起始方位角；
第四段线圈：逆时针转略小于90°角度的圆弧后，继续向外延伸适当的长度。
5.根据权利要求4所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述的多个独立分支的第一段线圈相互连接而成为一个封闭的整圆。
6.根据权利要求1至5任一项所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述的多个独立分支相互并联连接。
7.一种应用上述电感耦合线圈的电感耦合等离子体装置，包括反应室，反应室上部设有介电窗，其特征在于，所述的介电窗的上部设有电感耦合线圈，电感耦合线圈连接有射频电源。
8.根据权利要求7所述的电感耦合等离子体装置，其特征在于，所述的电感耦合线圈的多个独立分支并联连接后，其输入端与射频电源连接；输出端接地。
9.根据权利要求8所述的电感耦合等离子体装置，其特征在于，所述的电感耦合线圈的输出端通过接地电容接地。
10.根据权利要求9所述的电感耦合等离子体装置，其特征在于，所述的接地电容为可调电容。
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