[发明专利]固化性树脂组合物、固化膜的形成方法和固化膜

权利要求书

1.一种固化性树脂组合物，其特征在于，其含有(A)聚合物，所述(A)聚合物是通过在下式(1)或下式(2)表示的化合物存在下通过活性自由基聚合进行聚合，用凝胶渗透色谱法测定的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)与数均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)为1.7或1.7以下，且具有羧基以及环氧乙烷基或氧杂环丁基，其中，式(1)为：

式(1)中，p为1或1以上的整数，Z¹为氢原子、羧基、基团-R^A、基团-OR^A、基团-NR^A₂、基团-COOR^A、基团-C(＝O)NR^A₂、基团-P(＝O)R^A₂、基团-P(＝O)(OR^A)₂或基团-NR^ANR^A-C(＝O)R^A，R^A独立地为卤原子、氰基、羟基、碳原子数为1～20的烷基、碳原子数为2～20的烯基、碳原子数为6～20的芳基、碳原子数为7～20的芳烷基、或碳原子与杂原子的合计原子数为3～20的1价杂环基团，R^A为烷基、烯基、芳基、芳烷基或杂环基团时，R^A所具有的氢原子中的1个或多个可以被卤原子、氰基、羟基或羧基取代；

p＝1时，R¹为氢原子、氰基、基团-R^B、基团-OR^B、基团-NR^B₂、基团-SR^B，R^B独立地为碳原子数为1～20的烷基、碳原子数为3～20的1价脂环族烃基、碳原子数为2～20的烯基、碳原子数为6～20的芳基、碳原子数为7～20的芳烷基、或碳原子与杂原子的合计原子数为3～20的1价杂环基团，R^B所具有的氢原子中的1个或多个可以被卤原子、氰基、羟基、羧基或环氧乙烷基取代，其中，Z¹和R¹不同时为氢原子；

p为2或2以上时，R¹是从碳原子数为1～20的烷烃中除去p个氢原子得到的p价基团、从碳原子数为6～20的芳烃中除去p个氢原子得到的p价基团、或从碳原子与杂原子的合计原子数为3～20的1价杂环化合物中除去p个氢原子得到的p价基团，这些基团所具有的氢原子中的1个或多个可以被卤原子、氰基、羟基、羧基或环氧乙烷基取代；

式(2)为：

式(2)中，m为2或2以上的整数，Z²是从碳原子数为1～20的烷烃中除去m个氢原子得到的m价基团、从碳原子数为6～20的芳烃中除去m个氢原子得到的m价基团、或从碳原子与杂原子的合计原子数为3～20的1价杂环化合物中除去m个氢原子得到的m价基团，这些基团所具有的氢原子中的1个或多个可以被卤原子、氰基、羟基、羧基或环氧乙烷基取代，R²为氢原子、氰基、基团-R^C、基团-OR^C、基团-NR^C₂、基团SR^C，R^C独立地为碳原子数为1～20的烷基、碳原子数为3～20的1价脂环族烃基、碳原子数为2～20的烯基、碳原子数为6～20的芳基、碳原子数为7～20的芳烷基、或碳原子与杂原子的合计原子数为3～20的1价杂环基团，R^C所具有的氢原子中的1个或多个可以被卤原子、氰基、羟基、羧基或环氧乙烷基取代。

2.如权利要求1所述的固化性树脂组合物，其中，(A)聚合物具有下式(i)或下式(ii)表示的结构：

式(i)中，Z¹和上述式(1)中的定义相同，式(ii)中，Z²和m与上述式(2)中的定义相同。

3.如权利要求1所述的固化性树脂组合物，其特征在于，其还含有(B)聚合性不饱和化合物和(C)放射线敏感性聚合引发剂，用于形成间隔物。

4.如权利要求1所述的固化性树脂组合物，其特征在于，其还含有(D)1，2-醌二叠氮化合物，用于形成层间绝缘膜或微透镜。