[实用新型]一种离子源阴极、加热电子枪及弧室之间绝缘装置无效
| 申请号： | 200620008175.8 | 申请日： | 2006-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN2891269Y | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | 戴习毛;龙会跃;袁卫华 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/02;H01J37/04;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/425 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 阴极 加热 电子枪 之间 绝缘 装置 | ||
【权利要求书】：
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