[实用新型]应用于离子注入机中的光纤连接系统无效
| 申请号： | 200620008185.1 | 申请日： | 2006-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN2914113Y | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 王迪平;谢均宇;孙勇;王玮琪 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/00 | 分类号： | G02B6/00;H04B10/12;C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 应用于 离子 注入 中的 光纤 连接 系统 | ||
【说明书】：
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