[实用新型]离子束传输控制系统无效
| 申请号： | 200620008186.6 | 申请日： | 2006-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN2913386Y | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 王迪平;罗宏洋;郭健辉;田小海;文超 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/54;H01J37/30;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子束 传输 控制系统 | ||
【权利要求书】：
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