[实用新型]离子注入机磁分析系统无效
| 申请号： | 200620012982.7 | 申请日： | 2006-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN200959327Y | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 孙雪平;郭健辉;田小海;文超 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/425 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子 注入 分析 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子注入机磁分析系统包括大功率开关电源，霍尔放大器，电源控制器和磁分析器，其特征为：电源控制器与大功率开关电源的磁场控制端相连接，所述置于磁分析器中的霍尔探头与霍尔放大器相连接，霍尔放大器与大功率开关电源相连接，大功率开关电源又与磁分析器相连接。
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