[实用新型]段差检测仪

权利要求书

1.一种段差检测仪，包括基座、可固定被测产品的基准平台，其特征在于：其还包括可接收感应信号并进行数据处理、储存和输出处理结果的控制处理系统、固定在所述基座上的立柱和X直线运动组件；该X直线运动组件上固定有Y直线运动组件，所述基准平台固定在该Y直线运动组件上；该Y直线运动组件整体可被该X直线运动组件驱动，该基准平台整体可被该Y直线运动组件驱动；该X直线运动组件的运动方向垂直于该Y直线运动组件的运动方向；该立柱上固定有垂直于该基准平台、可指向固定在该基座平台上的被测产品的上表面、且与该控制处理系统电连接的位移传感器。

2.根据权利要求1所述的段差检测仪，其特征在于：所述X直线运动组件为丝杠螺母机构，其包括固定在所述基座上的X支架、可转动固定在该X支架的X丝杠以及与该X丝杠相配并可沿该X丝杠滑动的X螺母；所述Y直线运动组件固定在该X螺母上。

3.根据权利要求2所述的段差检测仪，其特征在于：所述X支架上设有可引导所述Y直线运动组件运动的X导轨。

4.根据权利要求2所述的段差检测仪，其特征在于：所述Y直线运动组件为丝杠螺母机构，包括固定在所述X螺母上的Y支架、可转动固定在该Y支架的Y丝杠以及与该Y丝杠相配并可沿该Y丝杠滑动的Y螺母；所述基准平台固定在该Y螺母上。

5.根据权利要求4所述的段差检测仪，其特征在于：所述X支架上设有可引导所述Y支架运动的X导轨。

6.根据权利要求4所述的段差检测仪，其特征在于：所述Y支架上设有可引导所述基准平台运动的Y导轨。

7.根据权利要求1所述的段差检测仪，其特征在于：所述Y直线运动组件为丝杠螺母机构，其包括固定在所述X直线运动组件上的Y支架、可转动固定在该Y支架的Y丝杠以及与该Y丝杠相配并可沿该Y丝杠滑动的Y螺母；所述基准平台固定在该Y螺母上。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的段差检测仪，其特征在于：其还包括固定在所述立柱上的Z直线运动组件，该Z直线运动组件的运动方向垂直于所述基准平台，所述激光位移传感器固定在该Z直线运动组件上。

9.根据权利要求8所述的段差检测仪，其特征在于：所述Z直线运动组件为丝杠螺母机构，其包括固定在所述基座上的Z支架、可转动固定在该Z支架的Z丝杠以及与该Z丝杠相配并可沿该Z丝杠滑动的Z螺母；所述激光位移传感器固定在该Z螺母上。

10.根据权利要求9所述的段差检测仪，其特征在于：所述Z支架上设有可引导所述激光位移传感器运动的Z导轨。